高精度平面磨床是一种高精度加工设备，主要用于加工工件的平面，以达到高的表面质量和精度要求。采用精密的控制技术、高精度的传动装置和各种精密机械组件，能够确保加工精度的稳定性和一致性。这些技术使得磨削深度和磨削精度可以被精确控制在特定的范围内，满足微米级的加工精度需求。
1、高稳定性床身
整体花岗岩结构：高精度平面磨床的床身通常采用整体花岗岩结构，因为花岗岩具有高阻尼、小振动和良好的热稳定性，这些特性确保了磨床的高刚度和高稳定性。
闭式静压导轨：工作台面采用整体花岗岩结构，并在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、高精度的大平面闭式静压导轨，以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。
2、工作台
直线电机驱动：工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动，同时为了防止直线电机的运动影响台面，专门为直线电机设计了独立的静压导轨。
光栅系统闭环控制：台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制，从而保证了工作台具有高精度、快速响应的运动特性。
3、立柱、滑座与横梁
热变形控制：立柱和横梁采用花岗岩制成，以控制由于热引起的机床变形。
伺服电机与滚珠丝杠：砂轮横向位移滑座置于固定的横梁上，安装砂轮架的垂直运动拖板置于横向位移滑座上。横向位移和垂直运动均采用SIEMENS伺服电机直接驱动高精度滚珠丝杠来完成，HEIDENHAIN光栅位置反馈。
4、砂轮架
静压主轴系统：开发了转速范围广、高刚性、高精度砂轮静压主轴系统，以实现砂轮的高刚性、高精度回转运动。
砂轮平衡装置：砂轮主轴配备了砂轮平衡装置，配套的管理控制程序能在循环中连续监测砂轮的情况并立即对可能出现的不平衡量进行补偿。
5、测量系统
在位测量系统：机床配备了激光干涉仪作为加工精度的在位测量系统，通过机床台面运动和测量拖板横向运动，使激光干涉仪的镜头可以扫描所有加工面积。
6、润滑和?；?/div>
独立自动循环润滑系统：独立的自动循环润滑系统提供导轨和螺杆的定期清洁和润滑，并具有失压报警功能。
全密封屏蔽：配备全密封屏蔽，有效防止研磨液溅出机器，减少灰尘和雾对环境的影响，确保环境清洁和操作人员的健康。
7、电气系统
数控系统：该机器采用数控系统，三个数控轴分别控制机床的上下运动。
电气柜与控制面板：机床采用配有三色灯的独立电气柜?？刂泼姘宀捎眉胁僮?，所有操作元件和数控系统都集中在这里。
8、冷却系统
大流量冷却系统：配备大流量冷却系统和磁性分离以及纸过滤装置，可满足高效研磨生产连续性的需要，进一步保证研磨质量。
